Industries

Semi-conducteur

Semi-conducteur

L'industrie des semi-conducteurs est le domaine d'expertise historique d'Agileo Automation.

Une grande variété d'équipements

Nous avons l'expérience du contrôle et de la connectivité SECS/GEM et GEM300 de nombreux types d'équipements :

Procédés

  • Atomic Layer Deposition (ALD)
  • Chemical Mechanical Polishing (CMP)
  • Ion implanter
  • Laser annealing tools
  • Molecular-Beam Epitaxy (MBE)
  • Four d'oxydation
  • Nettoyage et gravure plasma avec Inductive Coupled Plasma (ICP), Bosch Process
  • Implantation par immersion plasma
  • Pulsed Laser Deposition (PLD)
  • Physical Vapor Deposition (PVD)

Automation Handling

  • Stockeur de wafers nus
  • Die bonder
  • Chargeur de fours
  • Sorteur de réticules
  • Stockeur de réticules semi-bare
  • Sorteur de wafers
  • Cluster tools avec des robots atmosphériques et sous vides

Métrologie Test

  • Automatic Test Equipment (ATE)
  • Inspection 3D des puces et des wafers
  • Métrologie in situ pour les processus de contrôle
  • Métrologie optique pour les dimensions critiques (CD et overlays)

De nombreux substrats et contenants

Nous avons travaillé avec ces substrats et contenants :

  • Des tailles de wafer de 450mm pour des laboratoires en passant par des tailles de 150mm (6"), 200mm (8") and 300mm (12")
  • Wafers fins, wafers Taiko, Wafers sur wafer carrier,
  • End effectors: Edge contact, Vacuum, Bernouilli avec capacité de Flip
  • Contenant de wafers: FOUP (Front Opening Unified Pods), FFO (FOUP For One), Open cassette, SMIF pods
  • Contenant de réticules : RSP (Reticle SMIF Pods) boxes, semi-bare boxes, Canon, Nikon, ASML, Toppan, Hoya, DMS box, EUV reticles

Robot Isel manipulation wafer semi-conducteur

Des Fabs dans le monde entier

Nous avons travaillé sur des équipements partout dans le monde et nous connaissons les besoins spécifiques des fabs (les noms ne sont pas divulgués pour des raisons de confidentialité) :

Amérique

  • Idaho, États-Unis
  • Floride, États-Unis
  • New York, États-Unis
  • Massachussets, États-Unis
  • Canada

Europe

  • Autriche
  • France
  • Allemagne
  • Italie
  • Royaume-Uni
  • Suisse

Asie

  • Chine
  • Malaisie
  • Singapour
  • Corée du Sud
  • Taïwan
semiconductor cluster tool secs/gem connectivity

Produits dédiés

Agileo Automation a capitalisé sur son expérience diversifiée pour développer des produits logiciels qui permettent aux OEM du secteur des semi-conducteurs de :

  • Etre dans le bon "time to market".
  • Réduire leur effort de développement de logiciels
  • Se concentrer sur leur activité principale

Nous proposons des produits éprouvés sur le terrain pour l'industrie des semi-conducteurs :

  • Agil'GEM: une bibliothèque SECS/GEM pour connecter les équipements au système informatique des Fabs (Host ou MES)
  • Speech Scenario: un émulateur d'hôte ou d'équipement pour valider la communication SECS/GEM avant la livraison
  • A²ECF Semi: Un framework logiciel pour développer des applications contrôlant des équipements allant de process modules standalone à des équipements plus complexes tels que des clusters tools avec plusieurs modules de process et de la robotique. Il fournit également la connectivité SECS/GEM ou GEM300 et l'acquisition de données sur les équipements (EDA également appelée Interface-A)
  • Agil'Sorter: Une application basée sur A²ECF Semi pour contrôler les sorteurs de wafers

EFEM 150mm et 200mm avec robot de chargement de wafer

SEMI Member Agileo Automation

 

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