Serveur pour Equipment Data Acquistion (EDA) / Interface A
Serveur pour Equipment Data Acquistion (EDA) / Interface A
Agil'EDA implémente un ensemble de standards SEMI définissant l'Equipment Data Acquisition (EDA), pour offrir une connectivité sécurisée et haute performance.
EDA, qu'est ce que c'est ?
EDA est un ensemble de standards SEMI (aussi appelé Interface A) utilisé pour l'échange de données entre les équipements semiconducteurs et les systèmes d'usine. Il fournit des données structurées et à haute fréquence provenant des équipements et complète SECS/GEM en y ajoutant une communication sécurisée et une modélisation avancée des données.
SEMI définit les versions EDA Freeze, qui précisent quels standards doivent être utilisés pour activer les fonctionnalités EDA sur les équipements ou dans les usines. Il existe trois versions de Freeze :
- Freeze 1: basée sur SOAP. Cette version n'est plus utilisée.
- Freeze 2: basée sur SOAP. C'est la version utilisée actuellement, celle-ci a été déployée en 2010.
- Freeze 3: based on gRPC. Cette version n'a pas encore été publiée par SEMI, mais son lancement est prévu pour mi-2026.
Aujourd'hui, toutes les fabs exigent EDA Freeze 2.
Pourquoi choisir Agil'EDA ?
Agil'EDA permet une collecte sécurisée de haute performance de données structurées provenant des équipements grâce à :
- La séparation entre le contrôle des équipements (SECS/GEM) et l’acquisition des données, afin de garantir que la productivité des outils ne soit pas affectée par la collecte de données
- La collecte de données à haute fréquence via un serveur EDA dédié
- L’accès simultané de plusieurs applications d’usine, permettant de collecter des données destinées à différentes utilisations
- Des modèles d'équipement standardisés et complets pour la supervision, l'analytique et l'intelligence artificielle
- Un accès sécurisé aux données des équipements, grâce à l’authentification et à la communication chiffrée
- Une architecture pensée pour l’avenir, conçue pour une transition fluide vers le standard haute performance EDA Freeze 3 (gRPC/HTTP2)
Architecture d'intégration Agil'EDA
Fonctionnalités
- Interface conforme à EDA Freeze 2, conçue pour s'intégrer aux infrastructures existantes des usines de fabrication
- Chargement, validation et publication de modèles d’équipements conformes aux standards SEMI
- Connexion aux données des contrôleurs d’équipements via l’Equipment Binding Interface (EBI) et son API gRPC indépendante de la plateforme
- Outils d'enregistrement et de traçage temporel pour l'analyse des performances et correction des anomalies
- APIs Equipment builder pour l’implémentation des modèles d’équipements et les adaptations en temps réel
- Déploiement modulaire, en tant que composant indépendant ou pleinement intégré au framework A²ECF-SEMI
- Vérification de l'intégration EDA à l'aide du client graphique local fourni
Standards SEMI
Agil'EDA supporte les standards suivants :
- SEMI E-120 - Common Equipment Model (CEM)
- SEMI E-125 - Equipment Self Description (EqSD)
- SEMI E-132 - Equipment Client Authentication and Authorization
- SEMI E-134 - Data Collection Management
- SEMI E-164 - EDA Common Metadata
Capture d'écran du client graphique intégré au produit, présentant un cas d'utilisation pratique et les principales fonctionnalités d'Agil'EDA
Environnement de développement
- API C# avec exemples de code
- Compatible avec Microsoft .NET® Framework 4.6.2 ou .NET® Runtime 8.0
- Disponible sur Microsoft Windows® 10 et 11 (x86 / x64) ainsi que sur Linux
Documentation
Agileo Automation met à disposition de ses clients une documentation complète, comprenant un guide développeur qui explique non seulement comment utiliser toutes les applications et outils à votre disposition, mais aussi comment créer vous-même vos modèles d’équipements.
