Server für Equipment Data Acquisition (EDA) / Interface A
Server für Equipment Data Acquisition (EDA) / Interface A
Agil'EDA implementiert Equipment Data Acquisition (EDA), eine Reihe von SEMI-Standards, und bietet eine sichere, leistungsstarke Verbindungslösung.
Was ist EDA?
EDA ist ein Satz von SEMI-Standards (häufig als Interface A bezeichnet) für den Datenaustausch zwischen Halbleiteranlagen und Fabriksystemen. Es liefert strukturierte und hochfrequente Daten von Werkzeugen und ergänzt SECS/GEM durch sichere Kommunikation und fortschrittliche Datenmodellierung.
SEMI erstellt EDA Freeze-Versionen, die festlegen, welche Standards gemeinsam verwendet werden müssen, um EDA-Funktionalität auf Werkzeugen oder in Halbleiterfabriken zu ermöglichen. Es gibt drei Freeze-Versionen:
- Freeze 1: basiert auf SOAP. Diese Version wird nicht mehr verwendet.
- Freeze 2: basiert auf SOAP. Dies ist die aktuell verwendete Version, die 2010 veröffentlicht wurde.
- Freeze 3: basiert auf gRPC. Diese Version wurde von SEMI noch nicht veröffentlicht, wird aber Mitte 2026 erwartet.
Alle großen Halbleiterfabriken benötigen mittlerweile EDA Freeze 2.
Warum Agil'EDA?
Agil'EDA ermöglicht die sichere und leistungsstarke Erfassung strukturierter Gerätedaten durch:
- Die Trennung von Anlagensteuerung (SECS/GEM) und Datenerfassung, um die Produktivität der Anlagen durch die Datenerfassung nicht zu beeinträchtigen
- Die hochfrequente Datenerfassung über einen dedizierten EDA-Server
- Den gleichzeitiger Zugriff mehrerer Werksanwendungen zur Datenerfassung für verschiedene Anwendungsfälle
- Standardisierte und umfassende Anlagenmodelle für Überwachung, Analyse und KI-Anwendungen
- Den sicherer Zugriff auf Anlagendaten durch Authentifizierung und verschlüsselte Kommunikation
- Die zukunftssichere Architektur für einen nahtlosen Übergang zum leistungsstarken EDA Freeze 3-Standard (gRPC/HTTP2)
Agil'EDA-Integrationsarchitektur
Features
- EDA Freeze 2-kompatible Schnittstelle, kompatibel mit bestehenden Fertigungsinfrastrukturen
- Laden, Validieren und Veröffentlichen von SEMI-konformen Gerätemodellen
- Anbindung von Gerätesteuerungsdaten über die Equipment Binding Interface (EBI) und deren plattformunabhängige gRPC-API
- Protokollierungs- und Zeiterfassungstools für Leistungsanalyse und Fehlerbehebung
- Geräte-Builder-APIs für die Implementierung von Gerätemodellen und Laufzeitanpassungen
- Modular Bereitstellung als eigenständige Komponente oder vollständig integriert in das A²ECF-SEMI-Framework
- EDA-Integration Überprüfung mithilfe des mitgelieferten lokalen grafischen EDA-Clients
SEMI-Standards
Agil'EDA unterstützt die folgenden Standards:
- SEMI E-120 - Common Equipment Model (CEM)
- SEMI E-125 - Equipment Self Description (EqSD)
- SEMI E-132 - Equipment Client Authentication and Authorization
- SEMI E-134 - Data Collection Management
- SEMI E-164 - EDA Common Metadata
Screenshot des im Produkt enthaltenen integrierten grafischen Clients, der die praktische Anwendung und die wichtigsten Funktionen von Agil'EDA demonstriert
Entwicklungsumgebung
- C# API und Beispiele
- Microsoft .NET® Framework 4.6.2 oder .NET® Runtime 8.0
- Verfügbar für Microsoft Windows® 10 und 11 (x86/x64) und Linux
Dokumentation
Agileo Automation bietet seinen Kunden eine umfassende Dokumentation, darunter nicht nur ein Entwicklerhandbuch, das die Nutzung aller verfügbaren Anwendungen und Werkzeugen erklärt, sondern auch eine Anleitung zum Erstellen Ihres eigenen Anlagenmodells.
