Integration von Agileo A²ECF in RECIF 450mm/300m EFEM

Agileo Automation und RECIF Technologies gaben heute bekannt, daß die A²ECF-Gerätesteuerungslösung von Agileo erfolgreich in RECIF 450 mm/300 mm EFEM integriert wurde.

Das Agileo Automation Team benötigte drei Tage, um die Robotertreiber für die A²ECF-Lösung anzupassen, um das RECIF 450 mm/300 mm EFEM steuern zu können. A²ECF ist eine Softwarelösung zur Geräteautomatisierung, die wichtige EFEM-Plattformen unterstützt und Prozess- und Alarmmanagement, Rezeptverwaltung, eine SEMI E95-konforme grafische Benutzeroberfläche und anpassbare Zeitplaner mit grafischer Darstellung liefert.